掩膜板的制作方法

2020-07-11

  掩膜板的制作方法,一方面能够提高蒸镀开孔的尺寸精度,一方面使蒸镀开孔具有设计需要的斜锥角,减少对蒸镀材料的遮挡,提高蒸镀效率,使掩膜板更符合制程要求。

  先采用电铸工艺或物理气相沉积工艺制作出初始掩膜板,该初始掩膜板具有多个呈阵列式排布的、开口尺寸等于蒸镀所需的设计开孔尺寸的直孔通孔;再采用化学刻蚀工艺,对初始掩膜板的下表面及直孔通孔的内壁进行刻蚀,形成具有斜锥角的曲线形凹槽,该曲线形凹槽的开口尺寸自下而上逐渐减小至蒸镀所需的设计开孔尺寸,从而制作出掩膜板。

  步骤如下:

  步骤1、提供一金属基板,在所述金属基板上涂覆一层光刻胶;

  步骤2、对所述光刻胶进行曝光、显影,形成光刻胶图案; 包括多个呈阵列式排布的、相互间隔的直孔,每相邻两个直孔之间的间隔尺寸等于蒸镀所需的开孔设计尺寸;

  步骤3、采用电铸工艺或物理气相沉积工艺在所述金属基板上于光刻胶图案的直孔内沉积一层掩膜材料;

  步骤4、去除金属基板和光刻胶图案,得到初始掩膜板; 所述初始掩膜板具有多个呈阵列式排布的、开口尺寸等于蒸镀所需的设计开孔尺寸的直孔通孔、及位于每相邻两个直孔通孔之间的挡墙;

  步骤5、在初始掩膜板的上、下表面分别形成上光致刻蚀层图案、下光致刻蚀层图案; 所述上光致刻蚀层图案完全覆盖所述挡墙的上表面,所述下光致刻蚀层图案仅覆盖所述挡墙的下表面的中间部分;

  步骤6、采用化学刻蚀工艺对初始掩膜板的下表面及直孔通孔的内壁进行刻蚀,形成具有斜锥角的曲线形凹槽; 该曲线形凹槽的开口尺寸自下而上逐渐减小至蒸镀所需的设计开孔尺寸;

  步骤7、去除所述上、下光致刻蚀层图案,得到掩膜板。

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