精密金属掩膜板的张网方法

2020-01-14

  精密金属掩膜板的张网方法,具体地说,是一种蒸镀用精密金属掩膜板的张网方法,以及利用该张网方法所获得的掩膜板。

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  其特征在于,包括: 在掩膜板上制作图案区,所述图案区由蒸镀用开口组成; 在所述掩膜板上的图案区至少两侧形成多个虚拟开口,相邻虚拟开口之间形成连接桥; 将所述掩膜板张网固定到掩膜板框架上; 检测所述掩膜板上的图案区蒸镀用开口的位置精度,若所述蒸镀用开口的位置精度偏差超出阈值,则切断对应该蒸镀用开口的虚拟开口之间的连接桥。

  通过在图案区两侧设置虚拟开口,在检测到掩膜板上的图案区蒸镀用开口的位置精度偏差超出阈值时,切断对应位置处的虚拟开口之间的连接桥,从而消除应力,使蒸镀用开口的位置偏差保持在允许的范围内。

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