真空蒸镀成形掩膜装置介绍

2019-12-25

  真空蒸镀用多面成形掩膜装置,具有沿纵向及横向配置的多个有效掩膜板,其特征是,包括:具有多个窗口的第一掩膜;以及配置在第一掩膜上并具有包含沿纵向延伸的多个微细狭缝的帘部的第二掩膜;第二掩膜的帘部配置在第二掩膜中的至少覆盖全部窗口的横向全部区域上,通过帘部与窗口形成有效掩膜部。

  真空蒸镀用多面成形掩膜装置,在基板上形成沿横向延伸的多个开口,各开口的纵向长度对应于第一掩膜的窗口的纵向长度。

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  根据这种结构,由于多个窗口的各个窗口作为有效掩膜部作用,所以,配置尺寸能覆盖全部窗口的基板并进行蒸镀,可进行多面成形,提高了生产性。另外,由于第二掩膜处于沿狭缝长度方向拉伸的状态,因此,即使是以微细间隔配置有微细狭缝的高精细掩膜,也能使狭缝处于笔直状态且保持给定的间距,可在基片上形成作为目的的高精细图案。

  将要蒸镀的基片配置在该结构的多面成形掩膜装置的第二掩膜上,将全体置于蒸镀机内进行蒸镀,通过多面成形能以良好的生产性形成高精细的图案。

  利用该结构的掩膜拉伸保持机构,通过夹紧部件将第二掩膜的端部固定到滑块上,用移动机构使滑块朝拉伸第二掩膜的方向移动,从而可保持第二掩膜为拉伸状态,仅通过简单的操作就能使帘部的多个狭缝处于笔直状态,且维持给定间隔。

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