高精度的硅基掩膜板

2019-11-28

  高精度的硅基掩膜板是通过微纳加工中常用的刻蚀的方法,在硅基底上刻蚀出高精度的镂空掩膜图案,常被用于二维材料电学,光电等性质的研究。原位芯片通过将高精度的硅基掩膜板覆盖在薄膜材料表面并暴露出电极图案部分沉积金属制备金属电极。

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  为了避免掩膜板对待蒸镀基板造成损害,通常是在掩膜板上设置一保护膜,该保护膜由有机材料制成,当保护膜与待蒸镀基板接触时,保护膜对待蒸镀基板造成的损害小于掩膜板对待蒸镀基板造成的损害。

  产品应用

  科研人员研究二维材料的电学,光电等性质时一般使用硅基掩膜板来制备高精度的二维材料金属电极。

  工艺能力

  最小线宽2um;非镂空图案部分最薄200um;镂空图案部分最薄20um;

  掩膜图形可定制;精度高;强度高、不易碎;工艺成熟。

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