如何修复掩膜板上的缺陷

2019-11-27

  掩膜板上的致命缺陷显然是不希望的,有可能因为掩膜板上有一个缺陷而使整个掩膜板没用。所以修复这些缺陷显得非常有必要。已经开发出一些掩膜板修复方法。用激光修补不透明的掩膜板已经使用若干年了(即把不需要的铬沾污去除)。一个聚焦的激光束仅仅能蒸发掉一些不需要的材料。激光蒸发可能对玻璃衬底产生潜在的破坏。大的铬沾污可能需要若干激光脉冲一去除它们,如果产生激光灼伤,将导致具有复制能力的缺陷。

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  虽然在投影复印系统中掩膜板的制造无缺陷(即在需要时采用修补技术),而且光掩膜板和硅片接触时不产生破坏,但在传递过程中仍然可能导致掩膜板缺陷。对于1μm的分辨率,大得能够引起缺陷的微粒仍然难以检测和去除。所有在投影复印工艺中,用以保护掩膜板不致缺陷的方法仍然迫切需要。一种有效的方法是应用保护膜。

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