金属掩膜板工艺优点

2019-11-18

  金属掩膜板精密切割,叉指电极掩膜板精密切割。掩膜板激光精密切割,相比传统的工艺,具有以下优点:

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  高精度(<±2μm)

  无材料限制(金属、陶瓷、硅片、有机物等等)

  可编程(最小特征3μm,最大加工幅面可拓展至300*300mm)

  无污染无耗材

  直接成型,无掩膜光刻过程

  苏州创阔金属激光提供的激光精密加工设备,最小加工线宽3μm,整体加工精度最高±2μm,局部特征精度<2μm,加工幅面300*300mm,用于金属、陶瓷、硅片、玻璃、有机物等材料精密盲孔、通孔、开槽、切割加工等。

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