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掩膜板夹取装置的制作

2019-11-06

  精细金属掩膜板(英文:Fine Metal Mask;简称:FMM)是有机发光二极管(英文:Organic Light-Emitting Diode;简称:OLED)显示装置制造过程中,用于在基板上蒸镀发光层的组件。在通过该FMM对基板进行蒸镀前,需要先通过多个掩膜板夹取装置分别夹取该FMM的两端,然后对该FMM进行拉伸,使得FMM上的掩膜图形与基板上待蒸镀的图形保持一致。

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  每个掩膜板夹取装置可以包括相对设置的第一夹取部A和第二夹取部B。在使用该多个掩膜板夹取装置夹取FMM时,可以先将该FMM放置在各个夹取装置的第一夹取部A的端面上,然后使该多个掩膜板夹取装置的第二夹取部B同时靠近并压紧在该FMM远离第一夹取部A的一面,使得该FMM固定在该两个夹取部之间,以便对该FMM进行拉伸。

  在使用相关技术中的掩膜板夹取装置对FMM进行夹取的过程中,对该多个掩膜板夹取装置的第二夹取部的同步性要求较高,若某个掩膜板夹取装置的第二夹取部提前压紧在FMM上,则可能会使该FMM发生移动,进而使得夹取过程中FMM产生额外褶皱,影响后续的拉伸效果。

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