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精细掩膜板制作方法

2019-11-03

  通常掩膜板(Mask)由掩膜框架(Mask Frame)和通过激光点焊固定在掩膜框架上的掩膜(Mask Sheet)所组成。传统FMM的掩膜(FMM Sheet)主要使用因瓦合金(Invar)材料,经过双面光刻、蚀刻工艺制造而成。

  精细掩膜板的制作方法,制作方法简单,所制得的精细掩膜板的像素开孔尺寸小,且用于真空蒸镀过程中可降低镀膜阴影区域,显著提高OLED显示产品的解析度。

  精细掩膜板,包括掩膜边框、金属材料的第一掩膜、及有机材料的第二掩膜;所述第一掩膜上设有数个第一像素开孔;所述第二掩膜上对应每一第一像素开孔的区域内设有一个以上的第二像素开孔,由于第二像素开孔对应设于对应第一像素开孔的区域内,与现有的FMM相比,能够提供更小尺寸的像素开孔,从而能够用于真空蒸镀过程中制作更小尺寸的OLED器件,提高OLED显示产品的解析度;同时由于该第二像素开孔的孔壁坡度可控制的更小,用于真空蒸镀过程中可使得蒸镀材料在第二像素开孔边缘处的入射角度更小,从而能够减小镀膜阴影区域,进一步提高OLED显示产品的解析度。本发明的精细掩膜板的制作方法,制作方法简单,所制得的精细掩膜板包括有机材料的第二掩膜,第二掩膜上设有较小尺寸的第二像素开孔,且该第二像素开孔的孔壁坡度可控制的更小,该精细掩膜板用于真空蒸镀过程中可使得蒸镀材料在第二像素开孔边缘处的入射角度更小,可降低镀膜阴影区域,显著提高OLED显示产品的解析度。

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