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精密狭缝片的结构原理及有限元分析

2019-10-26

  狭缝片本身的性能包括刀口的直线度、平行度和刀口运动的重复精度。为了保证上述性能在超高真空环境中顺利实现,要求结构设计尽量简单,以保证良好的真空性能;同时为避免由同步辐射光引起的刀口热变形对狭缝性能的影响,需根据实际使用情况,采取合理的冷却措施。

  配合精密直线导轨来实现缝片的开合,采用数字电路与软件实现其智能化,同时备有手动工作模式,具有非常高的精度和稳定性。作为光束线中的重要部件,狭缝片的主要作用是限制光束口径、提高能量分辨率、保护下游光学元件等。

  为了满足光学系统的分辨率和通量要求,狭缝片的可在-5~250μm开启,能在666.5×10-10Pa真空度下灵活运动。本文提出了一种用于超高真空的精密四刀狭缝,采用4刀结构,4个缝片分别由4个线性驱动装置控制,具有非常高的精度和稳定性。

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