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掩膜板的清洗方法

2019-10-16

  在清洗干净的前提下,现有清洗方法主要是通过化学腐蚀并辅以物理方法将掩膜板上的杂质去除,但这种化学试剂在去除杂质的同时也将掩膜板上的图形损坏,因此长期使用会导致掩膜板的图形发生变形而不得不更换掩膜板。

  清洗方法,所述清洗方法包括以下步骤:

  1、将掩膜板浸泡在丙酮中,同时用滚筒刷对掩膜板的表面从各个方向进行滚动刷洗;

  2、将掩膜板浸泡在去离子水中进行超声清洗;

  3、将掩膜板放入气体和液体的强力混合流体中进行清洗;

  4、将掩膜板放入流动的去离子水中进行冲洗;

  5、重复步骤3、4的操作进行5次;

  6、将掩膜板用气体吹干

  采用丙酮并配以聚乙烯醇(PVA)材质的滚筒刷来代替SPM溶液,在这种化学腐蚀和物理冲刷和震荡的共同作用下清洗的掩膜板,清洗后掩膜板表面的干净程度 与现有SPM溶液清洗方法相当,但是由于丙酮不会与Cr发生化学反应,它只是将光刻胶等 杂质去除而不会将掩膜板上的图形破坏,因此减少了因清洗而对掩膜板造成的损伤,从而 提高掩膜板的寿命,降低企业的生产成本。

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