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透明狭缝的分光仪的背景技术

2019-10-07

  近年来线阵列、面阵列的探测器广泛应用到光谱仪及分光光度计上,使光谱仪、分光光度计在各个领域内日益发挥着重要作用。这种带有阵列探测器的光谱仪或分光光度计需要使用到狭缝(slit),狭缝是决定仪器分辨率指标的重要零件。

  目前广泛使用的狭缝包括一厚度为80〜100微米的基片,基片上开具有一定规 格、一定形状的细缝,该细缝的尺寸最终决定了仪器的分辨率。这种狭缝的制作方法是通过 蚀刻或激光切等方法在平整的金属基片上产生所需要的细缝,不仅加工成本高,而且细缝 的边缘质量较差。

  此外,这种狭缝还存在以下缺点:

  1、由于该狭缝的细缝宽度非常窄,一旦细缝内落入极小的杂质,清理这些杂质将非常困难,这些杂质会影响到仪器的响应度且对分辨率产生影响。

  2、该狭缝的厚度很薄(80〜100微米),而狭缝的基片一般采用平整金属材料制成,仪器安装过程中很容易破坏狭缝的表面平面度,进而影响狭缝的质量。由于狭缝的质量 不高,会恶化在阵列探测器上的成像质量,从而影响到仪器的分辨率,为消除这些不利影响 一般还要通过其它的方法进行校正。

  3、该狭缝的细缝使光谱仪的外部环境与内部环境是相通的,在某些使用环境中外部环境会对内部的光学器件、阵列探测器以及电路造成损坏,限制了光谱仪的应用范围。

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