金属掩膜板介绍

2019-10-04

  金属掩膜板,以解决真空蒸镀法中衬底基板与金属掩膜板对位困难、对位误差较大的问题。所述金属掩膜板用于真空蒸镀法中作为衬底基板的掩膜板,所述金属掩膜板包括掩膜图形及若干对位孔,所述对位孔在所述金属掩膜板中的延伸方向与所述金属掩膜板所在平面的垂直方向不重合,且所述对位孔不穿透所述金属掩膜板。

  光线在对位孔内多次反射且一部分光线被吸收,CCD系统根据金属掩膜板的对位孔和衬底基板的对位标记生成的图像具有较大的颜色对比,因此容易区分,从而降低对位难度,减小对位误差。

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